计算了半导体洁净室在AGV PORT打开、关闭不同状态下室内的静态气流场分布，以及考虑吊车运动时对气流的影响程度，对洁净室的指标进行了评价，其室内外压差、流线平行度、非单向流度和下限风速均满足设计标准，确定了EFU的设置方案。

半导体洁净室室内气流组织设计需要根据做要求的洁净室级别，确定采用何种送风、回风形式以及送风口、回风口的位置布置等，需要保证静态工况和动态工况都达到设计标准。洁净室内部结构复杂，包含众多零部件及孔板结构，还要考虑吊车运动的影响，模型的简化、处理和网格划分十分困难。

进行CFD仿真计算，其前处理模块可以快速的进行几何清理和简化，并自动生成高质量的体网格，结合网格重构功能计算得到了静态和动态工况下的速度场、压力场分布和其他性能指标。

客户以往的设计多是参照设计规范和工程师的个人经验，常常会出现实际建造的洁净室达不到设计要求的情况，采用CFD仿真方法进行辅助设计，可以在建造之前对方案进行验证并优化，处理静态工况外还可以考虑动态的影响，极大的提升了方案设计的可靠性。